全国服务热线:13412856568
等离子刻蚀设备腔体用微晶玻璃的 CNC 精密加工面临多重挑战。微晶玻璃兼具高硬度(莫氏硬度 6.5-7)与脆性,加工时易产生崩边、微裂纹,且需满足内壁 Ra≤0.01μm 的粗糙度及 μm 级平面度要求,对加工精度控制极严苛。
半导体设备零件氮化铝陶瓷晶元托盘
高纯度氧化铝陶瓷压环
AIN氮化铝陶瓷加热盘