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微晶玻璃等离子刻蚀设备腔体

钧杰陶瓷2025-08-13
微晶玻璃等离子刻蚀设备腔体

    等离子刻蚀设备腔体用微晶玻璃的 CNC 精密加工面临多重挑战。微晶玻璃兼具高硬度(莫氏硬度 6.5-7)与脆性,加工时易产生崩边、微裂纹,且需满足内壁 Ra≤0.01μm 的粗糙度及 μm 级平面度要求,对加工精度控制极严苛。

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