精密陶瓷制造商
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13412856568搜索关键词： 氮化硅陶瓷加工 氮化铝陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
| 产品名称 | 碳化硅陶瓷承载盘 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 来图定制加工 |
| 粗糙度 | Ra0.05 |
| 材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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PRODUCT CATEGORIES
碳化硅陶瓷承载盘是半导体与光伏行业的核心承载部件，凭借材料特性满足高精度生产需求。其硬度高达莫氏9.2级，耐磨性强，长期承载晶圆或硅片时表面不易磨损，使用寿命是金属承载盘的5-10倍。 碳化硅导热率达100-200W/(m·K)，能快速均匀散热，避免加工中局部高温导致的工件损坏。热膨胀系数与硅材料接近，减少热应力引发的形变，钧杰陶瓷保障加工精度。 经精密加工，承载盘表面粗糙度达Ra≤0.05μm，平面度误差≤5μm/m，配合微结构设计实现稳定承载。其耐等离子体腐蚀、抗化学侵蚀，适配蚀刻、沉积等工艺环境，为量产的稳定性与良率提供可靠支撑。
