氧化铝陶瓷支撑环

    氧化铝对准环与支撑环是半导体刻蚀、沉积等制程中的关键精密部件，凭借材料本征优势，正在替代金属与塑料结构。其首要价值在于超高尺寸稳定性：氧化铝热膨胀系数低，且硬度高，经精密磨削后圆度可控制在微米级，确保晶圆在升降温循环中始终维持精准同心度，有效抑制边缘偏