12英寸氮化铝晶圆加热盘

12英寸氮化铝晶圆加热盘（heater） 12英寸氮化铝晶圆加热盘是钧杰陶瓷生产的又一款用于半导体设备上的重要陶瓷部件，目前该产品性能可完全比肩进口原装件，经过国内多家设备厂商的实际使用，具备良好的热导性，温度控制均匀，能满足晶圆加热的需求。目前该产品的外形尺寸为&