半导体设备末端执行器

半导体设备末端执行器 半导体设备末端执行器是半导体制造设备中直接与晶圆（或其他半导体元件）接触并执行特定操作的关键部件，位于机械臂或运动机构的末端，其功能类似于人类的 “手”，负责完成晶圆的搬运、定位、加工辅助等任务。它的设计精度、可靠性和洁净度直接