等离子刻蚀设备腔体

    等离子刻蚀设备腔体用微晶玻璃的 CNC 精密加工面临多重挑战。微晶玻璃兼具高硬度（莫氏硬度 6.5-7）与脆性，加工时易产生崩边、微裂纹，且需满足内壁 Ra≤0.01μm 的粗糙度及 μm 级平面度要求，对加工精度控制极严苛。