陶瓷手臂

  半导体陶瓷手臂在半导体新芯片的整个生产过程中操纵和搬运硅晶片。它能够处理大尺寸晶片，并且可以设计有真空通道以承载零件。一般都使用工业陶瓷材料制作而成的，常见的材料有高纯度的氧化铝陶瓷，碳化硅陶瓷，氮化硅陶瓷材料等。生产半导体陶瓷手臂最重要的一点能力就是对陶瓷材料的精

半导体设备末端执行器 半导体设备末端执行器是半导体制造设备中直接与晶圆（或其他半导体元件）接触并执行特定操作的关键部件，位于机械臂或运动机构的末端，其功能类似于人类的 “手”，负责完成晶圆的搬运、定位、加工辅助等任务。它的设计精度、可靠性和洁净度直接