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半导体陶瓷涂层

  •     在陶瓷表面通过技术手段附着上一层特殊涂层后,使半导体陶瓷的性能发生变化,目前这种工艺在半导体制品生产过程中已经非常广泛。例如用于颗粒污染控制的纹理陶瓷涂层。对于静电夹盘,喷涂氧化铝涂层用作电极上的绝缘层,这些电极已嵌入单片氧化铝夹盘中。覆盖在电极上的绝

  •     在陶瓷表面通过技术手段附着上一层特殊涂层后,使半导体陶瓷的性能发生变化,目前这种工艺在半导体制品生产过程中已经非常广泛。例如用于颗粒污染控制的纹理陶瓷涂层。对于静电夹盘,喷涂氧化铝涂层用作电极上的绝缘层,这些电极已嵌入单片氧化铝夹盘中。覆盖在电极上的绝

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