SiC碳化硅陶瓷导轨

SiC 碳化硅陶瓷导轨凭借卓越性能，成为高端自动化设备的核心运动部件。其超高硬度与耐磨性尤为突出：硬度高达 HV2800，远超钢导轨（HV800），在高速往复运动中磨损率仅为金属的 1/50，配合镜面加工（Ra≤0.02μm）的表面，可长期保持微米级运动精度，满足半导体晶圆搬运、精密电子组装等设备的定位需求（重复定位误差≤±0.5μm）。​

极端环境适应性显著：在 - 200℃至 1000℃温度范围内，线膨胀系数低至 4.5×10⁻⁶/℃，远低于金属材料，可在焊接机器人、高温炉内传送设备等温差剧烈的场景中稳定运行，避免热变形导致的轨迹偏移。​

此外，化学惰性与抗污染能力适配复杂工况：耐酸碱、有机溶剂腐蚀，不与半导体制程中的蚀刻气体反应，同时不产生金属离子污染，满足光刻设备、生物医药自动化生产线的洁净要求。其密度仅 3.2g/cm³，比钢轻 60%，可降低驱动能耗，提升设备运行速度（最高线速度可达 5m/s）。目前已广泛应用于高精度线性模组、自动化检测平台等设备，为自动化系统的高效、稳定运行提供关键支撑。