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碳化硅陶瓷是一种具有多种优良特性的材料,其用途广泛,主要包括以下几个方面:
1、半导体设备:在半导体制造中,碳化硅陶瓷用于外延生长设备、刻蚀设备、氧化/扩散/退火设备等关键部件,因其能适应强腐蚀性和超高温的环境。
2、国防军工:除了防弹装甲,碳化硅陶瓷还在其他军事应用中发挥重要作用。
3、空间反射镜:在航天领域,碳化硅陶瓷用于制造空间反射镜,以承受极端的温度变化和空间环境。
4、化工机械:在化工行业中,碳化硅陶瓷用于制造耐腐蚀和耐磨损的部件。
5、热交换器:良好的导热性能使其适用于热交换器,以提高热交换效率。