氧化铝陶瓷离子光学组件

采用99.9%高纯氧化铝陶瓷（Al₂O₃）制成的引出电极和聚焦透镜，其介电强度>15kV/mm，可在30kV高压下保持绝缘稳定性。例如，在Varian 3100离子注入机中，氧化铝陶瓷制成的离子束准直器通过纳米级表面抛光（Ra<0.1μm），将束流发散角控制在±0.5°以内，避免离子散射导致的注入剂量偏差。