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半导体设备末端执行器
钧杰陶瓷2025-05-20
半导体设备末端执行器
半导体设备末端执行器是半导体制造设备中直接与晶圆（或其他半导体元件）接触并执行特定操作的关键部件，位于机械臂或运动机构的末端，其功能类似于人类的 “手”，负责完成晶圆的搬运、定位、加工辅助等任务。它的设计精度、可靠性和洁净度直接影响半导体器件的良率和生产效率。
