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氧化铝陶瓷在泛半导体中的应用

文章出处:http://www.jundrotc.com/industry/843.html人气:3时间:2023-06-24

   氧化铝陶瓷因为本身有着极其优越的性能,现如今是一种被广泛应用在各个行业。因为氧化铝陶瓷有着较高的导热系数且材料比较便宜,所以高纯度的氧化铝陶瓷经常被用在泛半导体设备零部件中,今天钧杰陶瓷小编就为大家分享一些被应用在泛半导体设备上氧化铝陶瓷。

   由于氧化铝陶瓷有着高耐磨、热导率高、高硬度、绝缘性能好及耐腐蚀等优秀的性能,所以经常被应用在如光刻机、半导体刻蚀设备、离子注入机、沉积设备等等,除了氧化铝陶瓷以外,经常被应用在半导体设备中的还有氮化铝、氮化硅、碳化硅、可加工陶瓷等。

   那么有哪些常见的氧化铝陶瓷半导体设备零件呢?

   如氧化铝真空吸盘,半导体行业的零部件对于晶圆的要求很严格,只有近乎完美的晶片才能避免对器件非常有害的电学和机械缺陷,因此需要对晶片进行整型、切片、研磨、清洗等多个步骤。在这些工序里,晶片都需要一个可以安置并固定的工作台,采用陶瓷真空吸盘,也即一种通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的均匀实心或者真空体陶瓷,来通过真空吸力将半导体片、玻璃基板材料等工作物固定住。

   再比如常见的陶瓷机械手臂,在晶圆片的搬运中,会应用到氧化铝陶瓷制成的陶瓷机械手臂,将其安装在晶圆搬运机器人上,相当于机器人的手,负责搬运晶圆片到指定位置,其表面直接与晶圆接触。因为晶圆片在极其容易受到其他颗粒的污染,所以一般在真空环境下进行。在此环境下,大部分材料的机械手臂一般难以完成工作,制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度也需要很高。

   被应用在半导体常见的零件还有许多,我们钧杰陶瓷就是专业精密加工氧化铝、氮化铝、碳化硅陶瓷等等工业陶瓷的精密加工厂家,如果有需要可以通过网站电话联系我们哦。

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