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半导体氧化铝陶瓷机械手臂的应用

文章出处:http://www.jundrotc.com/857.html人气:3时间:2023-09-08

    近年来,随着国家政策的调整,半导体产业发展迅速,产业规模快速增长,半导体制造设备不断向精密化、复杂化发展,对高精度陶瓷关键部件的技术要求越来越高。目前,中国有数百家半导体设计和制造商,但大部分半导体设备和关键精密部件依赖进口,这极大地制约了国内半导体产业的发展。高精度陶瓷零件的价值占半导体设备的10%以上,全球市场约为100亿美元,几乎完全被美、日、韩等国外企业垄断。中国半导体产业要实现高质量发展,就必须有自己的关键核心技术和产业资源支撑,开展半导体装备用氧化铝精密陶瓷产品的开发,其经济价值和战略价值都非常重要。

    此外,陶瓷机械臂在半导体器件中起搬运作用,相当于半导体器件的机械手,负责将晶圆硅片搬运到指定位置。由于硅片极容易受到其他颗粒的污染,所以一般在真空环境中进行。氧化铝陶瓷和碳化硅陶瓷具有致密、高硬度、高耐磨性的物理性能,以及良好的耐热性、优异的机械强度,在高温环境下仍具有良好的绝缘性、良好的耐腐蚀性等物理性能,是用来制造半导体设备机械臂的优良材料。从材料性能来看,碳化硅陶瓷更适合制作陶瓷机械臂,但从材料价格、加工难度等经济方面来看,氧化铝陶瓷机械臂更具性价比。

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