搜索关键词: 氮化硅陶瓷加工 氮化铝陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
产品名称 | SiC碳化硅陶瓷导轨 |
加工精度 | 0.001mm |
是否定制 | 来图定制 |
粗糙度 | Ra0.8 |
材料成分 | 碳化硅 |
我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观! |
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SiC 碳化硅陶瓷导轨凭借卓越性能,成为高端自动化设备的核心运动部件。其超高硬度与耐磨性尤为突出:硬度高达 HV2800,远超钢导轨(HV800),在高速往复运动中磨损率仅为金属的 1/50,配合镜面加工(Ra≤0.02μm)的表面,可长期保持微米级运动精度,满足半导体晶圆搬运、精密电子组装等设备的定位需求(重复定位误差≤±0.5μm)。
极端环境适应性显著:在 - 200℃至 1000℃温度范围内,线膨胀系数低至 4.5×10⁻⁶/℃,远低于金属材料,可在焊接机器人、高温炉内传送设备等温差剧烈的场景中稳定运行,避免热变形导致的轨迹偏移。
此外,化学惰性与抗污染能力适配复杂工况:耐酸碱、有机溶剂腐蚀,不与半导体制程中的蚀刻气体反应,同时不产生金属离子污染,满足光刻设备、生物医药自动化生产线的洁净要求。其密度仅 3.2g/cm³,比钢轻 60%,可降低驱动能耗,提升设备运行速度(最高线速度可达 5m/s)。目前已广泛应用于高精度线性模组、自动化检测平台等设备,为自动化系统的高效、稳定运行提供关键支撑。