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SiC碳化硅陶瓷导轨
  • SiC碳化硅陶瓷导轨
产品名称

SiC碳化硅陶瓷导轨

加工精度 0.001mm
是否定制 来图定制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 碳化硅
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SiC 碳化硅陶瓷导轨凭借卓越性能,成为高端自动化设备的核心运动部件。其超高硬度与耐磨性尤为突出:硬度高达 HV2800,远超钢导轨(HV800),在高速往复运动中磨损率仅为金属的 1/50,配合镜面加工(Ra≤0.02μm)的表面,可长期保持微米级运动精度,满足半导体晶圆搬运、精密电子组装等设备的定位需求(重复定位误差≤±0.5μm)。​

极端环境适应性显著:在 - 200℃至 1000℃温度范围内,线膨胀系数低至 4.5×10⁻⁶/℃,远低于金属材料,可在焊接机器人、高温炉内传送设备等温差剧烈的场景中稳定运行,避免热变形导致的轨迹偏移。​

此外,化学惰性与抗污染能力适配复杂工况:耐酸碱、有机溶剂腐蚀,不与半导体制程中的蚀刻气体反应,同时不产生金属离子污染,满足光刻设备、生物医药自动化生产线的洁净要求。其密度仅 3.2g/cm³,比钢轻 60%,可降低驱动能耗,提升设备运行速度(最高线速度可达 5m/s)。目前已广泛应用于高精度线性模组、自动化检测平台等设备,为自动化系统的高效、稳定运行提供关键支撑。

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