精密陶瓷制造商
氮化铝陶瓷、macor、氧化铝陶瓷生产加工企业
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13412856568搜索关键词： 氮化硅陶瓷加工 氮化铝陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
| 产品名称 | 半导体设备零件氧化铝支撑环 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按图纸定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化铝 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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PRODUCT CATEGORIES
氧化铝对准环与支撑环是半导体刻蚀、沉积等制程中的关键精密部件，凭借材料本征优势，正在替代金属与塑料结构。其首要价值在于超高尺寸稳定性：氧化铝热膨胀系数低，且硬度高，经精密磨削后圆度可控制在微米级，确保晶圆在升降温循环中始终维持精准同心度，有效抑制边缘偏差导致的良率损失。其次，氧化铝具有优异的电绝缘与等离子体耐蚀性，击穿电压达20 kV以上，对含氟、含氯高能等离子体表现出极佳的化学惰性，可在腔体中稳定工作上千小时，显著降低颗粒污染与金属离子析出风险。其热导率约30-40 W/m·K，能迅速将工艺热量均匀散开，避免局部热斑导致的晶圆翘曲。此外，氧化铝可通过注塑-烧结实现净成形，后期仅需微量精加工，综合成本较氮化硅低30%以上，为12英寸乃至更先进制程的规模化应用提供了经济可行的路径。
